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劃裂后二流體清洗機
劃裂后二流體清洗機
1
主要用途:
清洗劃裂后晶圓,清洗完成后同槽體內進行甩干及吹干
主要功能:
1.自動上料(卡塞來料)
2.滴藥液
3.刷洗
4.二流體清洗
5.甩干+吹干
6.自動下料(入卡塞)
7.生產配方可建立可選
產品詳細
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全自動繃/貼膜貼片機
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晶圓貼膜機(砷化鎵)
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